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普通定位纸在高温下胶层软化易脱落,光大远创新 硅氧烷涂层 + 耐高温纸基 + 热固胶 三明治结构:表层硅氧烷涂层隔绝氧气,中层 180g/m 牛皮纸缓冲热冲击,底层硅烷改性胶在 150℃时
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随着半导体制程向 3nm 突破,保护膜的洁净度要求已提升至原子层级。光大远高洁静度 PE 保护膜通过分子级设计,将金属离子含量控制在 1ppm 以下,满足极紫外(EUV)光刻工艺的严苛需
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普通 PE 膜在半导体环境中每平方米可释放数万个微粒子,而光大远高洁静度 PE 膜通过纳米级表面处理,将粒子释放量控制在 10 个 /ft 以下,成为 3D NAND 闪存厂商的优选方案。 表面处
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当半导体工艺进入 3nm 时代,保护膜的洁净度已成为良率的关键变量。光大远高洁静度 PE 保护膜构建了从原料到交付的全链条洁净体系,其粒子控制能力达到 SEMICON F20 标准的 Class 100 级
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半导体制造中,PE 保护膜的洁净度不足会导致光刻胶残留、金属层污染等致命缺陷。光大远推出的半导体专用高洁静度 PE 膜,通过全流程洁净控制,将总有机碳(TOC)含量控制在 5ppm
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